AE电源维修

产品简介：  

专业维修德国 SINGULUS 溅镀电源、美国 MKS/ENI 溅镀电源、ADVANCED ENERGY 、美国 AE 溅镀电源、RF 射 频电源、DC 直流电源、AC 交流电源。更专业的技术，更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之尖端电源的维修。 

主要维修 AE( Advanced Energy) 、 ENI （ MKS ）等国际品牌 RF 射频电源及直流电源 。同时为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供专家级射频电源维修保养。为 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。 

Ion Beam Drive ： ID-3500 、 ID-3501 、 IT-2500 、 IT-3500

AC( 交流 / 中频系列 ) ：

PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 PE 5000 、 PE-10K 、 P E-20K

      PE-30K 、 PE-1000SG ； PE II ： PE II 5KW 、 PE II 10KW 、 PE II 60KW 

 PDX ： PDX 500 、 PDX 900-2V 、 PDX 1250 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000

 PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDZ 2200 、 MSD 350W ； PDW 600 、 PDW 2200 

 PDP 2500 、 PDP 3500 ； PEP 250 、 PEP 2500 、 PEP 5000 

 Dressler LFGS:LFGS 1250A 、 LFGS:LFGS 1250B 、 LFGS:LFGS 1250C 、 LFGS:LFGS 1250D

RF ( 射频系列 ) ：

RFG ： RFG 80 、 RFG 1250 、 RFG 1250 HALO 、 RFG 1251 、 RFG 3000 、 RFG 3001 

          RFG 5500 、 RFG 2K-2V 、 RFDS 1250 、 RFDS 1250-A 、 RFDS 3000 、 RFDS 2Kw-2KV

 APEX ： Apex 1513 、 Apex 2027 、 Apex 3013 、 Apex 4027  Apex 5513 、 Apex 7kW/13

             Apex 10kW/13 、 Apex 3513 、 Apex 10013 、 Apex 8013 、 Atlas 2 、 Atlas 1513

             Atlas 3013 、 Atlas 2504 、 Atlas 2027 、 Atlas 2012 、 Atlas 4012 、 Atlas 5002

             Atlas 5012 、 Atlas 5013 、 Atlas 5027 、

Rapid F  RFX ： RFX 600 、 RFX 600A 、 RFX 1250 、 RFX 2500 、 RFX 5500 、 RFG-AZX 

RFX II ： RFX II 1250 、 RFX II 3000 、 RFX II 5500 ；

HFG ： HFG 2500 、 HFG 5000 、 HFG 4M 

HFV ： HFV-3K 、 HFV-5K 、 HFV-8K 、 HFV-L 3KW

Ovation VHF:VHF-2760W 、 VHF-2060 、 VHF-2560 、 VHF-35162

ICP Generator:ICP-1KW 、 ICP-1.5KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW

Dressler HPG:HPG 03300 、 HPG 13150 、 HPG 13300 、 HPG 27300

Dressler Cesar: Cesar 0210 、 Cesar 0220(200v/400v) 、 Cesar 0225(200v/400v) 、 Cesar 0230(200v/400v) 、 Cesar 0250(200v/400v) 、 Cesar 026 、 Cesar 0410 、 Cesar 0420(200v/400v)

 Cesar 0425(200v/400v) 、 Cesar 0450(200v/400v) 、 Cesar 046 、 Cesar 1310 、 Cesar 1312 

 Cesar 1320(200v/400v) 、 Cesar 1325(200v/400v) 、 Cesar 133 、 Cesar 1330(200v/400v) 

 Cesar 1350(200v/400v) 、 Cesar 136 、 Cesar 2710 、 Cesar 2720(200v/400v) 、 Cesar 273

 Cesar 2740(200v/4000v) 、 Cesar 276 、 Cesar 4010 、 Cesar 4020(200v/400v) 、 Cesar 403

 Cesar 4040(200v/400v) 、 Cesar 405 、 Cesar 6010 、 Cesar 6020(200v/400v) 、 Cesar 603 

 Cesar 605 

RFPP ： RF-5S 250/500W 、 RF-10 、 RF-10S 、 RF-20 、 RF-20S 、 RF-25 、 RF-30S 

            RF-30H 、 RF-35 、 RF-40 、 RF-50 、 RF-50S 、 RF -10M 、 RF-10MWC 、 RF-20R 

            RF -20M 、 RF -25M 、 LF-5 、 LF-10 、 LF-20 、 LF-30 、 LF-50 、 HF-5 、 HF-10

            HF-100 、 HF-150